Die neuen 3D-Laserscanningmikroskope der VK-X-Serie von Keyence vereinen die Fähigkeiten von REMs und kontaktlosen Rauheitsmessgeräten mit der einfachen Bedienung eines optischen Mikroskops. Das System besitzt eine 0,5 nm feine Höhenachsenauflösung mit einem Vergrößerungsbereich, der zwischen 200- und 24.000-fach liegt. Die Einsatzmöglichkeit und die einfache Handhabung des Systems wurden durch das Hinzufügen der AI-Scan-Funktion weiter verbessert. Ein Mausklick der AI-Scan-Funktion erlaubt dem Benutzer seine Probe abzubilden und zu vermessen. Die Laserscanningmikroskope wurden derart konzipiert, um mit hochaufgelöster Farbbildgebung und Profilvermessung im Nanometerbereich, die Leistungsbegrenzungen herkömmlicher Technologien für Bildgebung und Profilvermessung zu überwinden. Ein Kurzwellenlaser scannt über die Probenoberfläche und liefert Daten zu Profilverläufen, Rauheit und Dicke von Schichten. Auch stark abgeschrägte Flächen stellen kein Hindernis dar. Die Kombination eines Kurzwellenlasers mit einem 16-bit Photomultiplier ermöglicht Anwendern, sowohl Bilder und Messdaten von fast jedem beliebigen Material zu erfassen, als auch Dickenvermessungen von transparenten Schichten oder Beschichtungen durchzuführen.
Edited by: Jürgen Wirtz
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