Der neueste Flüssigkeitssensor von Sensirion zeichnet sich durch seine hochreinen Materialien und gute Messgenauigkeit aus. Der kleine Sensor mit dem Namen SLQ-QT500 trifft die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie. Er deckt Flussraten von 0 - 120ml/min ab. Dabei ist sein Flusskanal absolut gerade und ohne bewegliche Teilchen. Der Sensor basiert auf der patentierten CMOSens Technologie und misst mikrothermisch durch die Kapillarwand des Flusskanals hindurch. So kommt der Chip nicht mit der zu messenden Flüssigkeit in Berührung. Lediglich die PFA-Anschlüsse sowie der Quarzglas-Flusskanal stehen in unmittelbarem Kontakt mit der Flüssigkeit. Dies garantiert dem Sensor eine hohe chemische Beständigkeit. Dank dieser Eigenschaften sowie der digitalen Schnittstelle RS485 wird eine zuverlässige Messung mit einer Sampling Rate von bis zu 1 ms erreicht.
Flüssigkeitssensor
