Die Tische der PlanarDLA Serie von Aerotech verfügen über eine hohe Dynamik und außergewöhnliche geometrische Eigenschaften bei gleichzeitig flacher Bauweise. Die Tische sind ideal für Anwendungen wie beispielsweise die beidseitige LED-Waferbearbeitung, bei der es auf eine hohe Dynamik und Geradheit im Mikrometerbereich ankommt, bis zu quasi statischer optischer Messtechnik, bei der eine hohe Genauigkeit und präzise geometrische Eigenschaften erforderlich sind.
Die XY-Bauweise des PlanarDLA ist für Anwendungen optimiert, bei denen es besonders auf die Ebenheit und Geradheit ankommt. Hochpräzise Rollenlager, präzise bearbeitete Oberflächen und berührungslose, direkt angetriebene Linearmotoren, die die Bewegung im Steifigkeitszentrum der Achsen ausführen ergeben einen XY-Tisch mit guten geometrischen Eigenschaften (Geradheit bis ±0,5 µm und Ebenheit bis ±1,25 µm).
Die Bauelemente des PlanarDLA sind unter dem Aspekt einer hohen Dynamik und Steifigkeit konstruiert, um auch den anspruchsvollsten dynamischen Anwendungen gerecht zu werden. Der Tisch erzielt hohe Servobandbreiten bei Maximierung der freien Apertur und Minimierung der Bauhöhe. Der PlanarDLA kann Geschwindigkeiten von 2 m/s und Beschleunigungen von 2 g erzielen und ermöglicht eine Bearbeitung bei hohem Durchsatz und hoher Genauigkeit, was zu ausgezeichneten Prozessergebnissen und niedrigen Gesamtbetriebskosten führt.
Kern des PlanarDLA ist die Direktantriebstechnologie von Aerotech. Diese sorgt für eine unvergleichbare Performance im Vergleich zu spindelangetriebenen Systemen der Mitbewerber. Nur die berührungslose Direktantriebstechnologie ermöglicht diese hohen Geschwindigkeiten und genaue Positionierung sowie den wartungsfreien Betrieb und lange Betriebszeiten.
Alle PlanarDLA Tische sind mit einem oder zwei Motoren pro Achse erhältlich, sodass sich jede Achse für die Anwendung und den spezifischen Prozess optimieren lässt. Mit zwei Motoren wirken die resultieren Antriebskräfte durch das Reibungs- und Steifigkeitszentrum, wodurch sich eine herausragende geometrische Leistung und Genauigkeit ergibt. Ein Motor pro Achse ist dagegen die ökonomischere Wahl, wenn es nicht so sehr auf den Durchsatz und strikte Positionierung ankommt.
Das standardmäßige Kabelmanagementsystem des PlanarDLA ist in den Tisch integriert und für eine lange Lebensdauer und Performance ausgelegt . Es sind mehrere Standardoptionen für zusätzliche Servoachsen, Luft-/Vakuumleitungen für Vakuumspannvorrichtungen oder andere Pneumatikkomponenten erhältlich.
Der PlanarDLA ist in drei Positionierungs-Performance-Ausführungen erhältlich. Die verfügbaren Optionen -PLUS und -ULTRA ermöglichen Genauigkeits- und Geradheitswerte von ± 500 nm und eine Orthogonalität von bis zu 5 µrad.
