Aerotechs lineare Piezo-Nanopositioniertische der QNP-L-Serie haben eine Auflösung im Nanometerbereich, verpackt in einem kompakten und hochsteifen Gehäuse. Zahlreiche Verfahrweg- und Feedback-Optionen machen diese Tische ideal für Anwendungen von der Mikroskopie bis hin zur optischen Ausrichtung.
Die linearen Piezo-Tische besitzen Präzisions-Flexure-Führungen, die unter Verwendung der Finite-Elemente-Analyse optimiert wurden, wodurch eine hohe Steifigkeit und lange Haltbarkeit erreicht wird. Dieses Design ermöglicht eine herausragende Steifigkeit und Resonanzfrequenz für einen hohen Prozessdurchsatz und schnelle "Closed-Loop"-Reaktionen. Die Konstruktion bietet zudem eine unvergleichliche geometrische Leistung (in Bezug auf Geradheit und Winkelfehler) bei gleichzeitiger Minimierung der Tischgröße.
Alle Piezo-Tische verfügen über "Closed-Loop" Einsatzmöglichkeiten unter Verwendung eines einzigartigen kapazitiven Sensors, der eine Positionierungsauflösung im Subnanometerbereich und eine hohe Positionierungsgenauigkeit (Linearität) ermöglicht. Die kapazitiven Sensoren messen direkt die Position des Schlittens, wodurch im Vergleich zum Verfahren mit indirekter Rückmeldungsmetrologie - beispielsweise Rückmeldung mit Dehnungsmessstreifen - eine gute Linearität und Positionierungswiederholbarkeit erreicht wird.
