Die Positionierungsfläche des Luftlagersystems PlanarHD mit den Abmessungen 500 mm x 500 mm verfügt über eine größere Luftlagerfläche. Die dynamische Eigenschaften wurden durch leistungsfähigere Linearantriebe an beiden Achsen verbessert. Dadurch sind Leistungsmerkmale wie eine Scan-Geschwindigkeit von 2 m/sec und eine Spitzenbeschleunigung von 5 g möglich. Die Positionierungsauflösung beträgt dabei 0,25 Nanometer, die Wiederholbarkeit 50 Nanometer und die Genauigkeit ±300 Nanometer.
