Multilayer-Biegeaktor

Neu in der Produktlinie der PICMA Bender ist ein Multilayer-Piezobiegeaktor in runder Form. PI Ceramic fertigt den Biegeaktor in der Größe Ø 44 x 0,65 mm für eine Auslenkung bis 270 µm. Das Herstellungsverfahren erlaubt auch hier eine rundum vollkeramische Isolierung. Die aktiven Schichten sind durch die vollkeramische Isolierschicht vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom geschützt. Die Multilayer-Biegeaktoren zeichnen sich durch einen großen Hub aus. Eine geringe transversale Längenänderung der aktiven Schichten wird in eine große Biegeauslenkung senkrecht zur Kontraktion umgewandelt. So können Auslenkungen bis zu zwei Millimetern bei Ansprechzeiten im Millisekundenbereich erzielt werden. Die hohe Resonanzfrequenz der Multilayer-Biegeaktoren bietet gute Voraussetzungen für hochdynamische Anwendungen. Neben unterschiedlichen Geometrien bietet das Unternehmen weitere kundenspezifische Ausführungen. Die Höhe der aktiven Schichten ist variabel ab einer Mindesthöhe von 15 µm, so dass mit Ansteuerspannungen von nur 10 V gearbeitet werden kann. Eine einseitige Auslenkung ist durch Aufbringen auf Substrat möglich, so dass eine höhere Steifigkeit und eine größere Auslenkung in eine Richtung als bei bidirektionalen Biegeelementen erreicht werden kann. Linearität und Wiederholgenauigkeit im positionsgeregelten Betrieb werden durch das zusätzliche Aufbringen von Positionssensoren verbessert. Multilayer-Kontraktorplatten können auch auf kundeneigenem Substrat (Metall, Silizium) appliziert werden. Durch ihre Zuverlässigkeit und flexible Ansteuerspannung eignen sich die Biegeaktoren für Dosier- und Pumpvorgänge, zur optischen Strahlablenkung und in kleinsten Abmessungen für den Einsatz in portablen Geräten.