Neuer Gerätestandard für die Halbleiterindustrie

Mit dem kürzlich freigegebenen Geräteprofil ETG.5003-1 sowie den zugehörigen neun spezifischen Geräteprofilen liefert die EtherCAT Technology Group (ETG) die Basis für eine neue Tool-Generation in der Halbleiterindustrie und ebnet damit den Weg für eine technologische Weiterentwicklung innerhalb der Branche.
Die Freigabe der Geräteprofile ermöglicht, dass EtherCAT in Halbleiterfertigungsmaschinen, den sog. Tools, nicht mehr nur für Motion Control, I/O, Sensoren und Gateways eingesetzt wird, sondern ab sofort auch branchenspezifische Geräte wie Massendurchflussregler oder Vakuumventile direkt ins EtherCAT-System eingebunden werden können. Florian Häfele, der den Arbeitskreis zur Erarbeitung der Profildokumente, die so genannte Semiconductor Technical Working Group, vonseiten der ETG technisch betreut, erklärt: "Mit der Freigabe der in 2012 erarbeiteten Geräteprofile reagieren wir auf den Wunsch der Maschinenbauer, EtherCAT in der Halbleiterbranche flächendeckend auch bei den branchenspezifischen Geräten einsetzen zu können. Spätestens, wenn der Wafer-Durchmesser von 450 Millimetern in alle Anlagen übernommen wurde, erwarten wir, dass EtherCAT durchgängig in fast allen Tools zu finden sein wird."