Piezo-Nanopositioniersystem

PI startet eine neue Produktlinie linearer Nanopositioniersysteme für ein breites Anwendungsfeld. Die Versteller der Serie P-630 qualifizieren sich z.B. für den Einsatz in Sensorköpfen oder die präzise Objektbewegung in der optischen und taktilen Messtechnik sowie für die Mikrostrukturierung. Mit Stellwegen bis 80 µm und einem direkten piezoaktorischen Antrieb bieten die flachen und schmalen Verstelleinheiten hohe Scanfrequenzen und Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden. Bei einer Breite von 50 mm besitzen sie eine große Apertur mit 30 mm Durchmesser. Die Antriebstechnologie der hochdynamischen Piezo-Nanopositioniersysteme basiert auf vollkeramisch isolierten PICMA Piezoaktoren. Die Positioniergenauigkeit und Stabilität im Bereich einzelner Nanometer wird durch einen integrierten kapazitiven Wegmesssensor erreicht. Die Ansteuerung erfolgt mit dem leistungsfähigen einkanaligen Motion Controller E-709.CHG. Seine Digitaltechnik ermöglicht fortgeschrittene Linearisierungsalgorithmen zur Verbesserung der Genauigkeit und die einfache Optimierung von Betriebsparametern per Software.