Bei dem neuen Lineartisch N-664 von Physik Instrumente handelt es sich um ein Piezopositioniersystem, in dem ein NEXACT Piezolinearantrieb die üblichen Schritt- oder DC-Servomotoren ersetzt, wodurch eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer möglich ist. Darauf abgestimmt ist der neuartige optische Linearencoder PIOne mit einer Auflösung von 0,5 nm, wodurch wiederholbar inkrementelle Bewegungen von 2 nm erzielt werden. Der Lineartisch ist mit Kreuzrollenlagern aus Edelstahl ausgestattet. Sie geben dem Mikrolineartisch die nötige Belastbarkeit und Führungsgenauigkeit für einen dynamischen Betrieb mit Höchstgeschwindigkeiten von 10 mm/s. Der Linearencoder arbeitet nach einem interferometrischen Messprinzip und kann so trotz hoher Geschwindigkeiten präzise Messergebnisse im Sub-Nanometerbereich liefern. Der Antrieb ist als direkter Linearantrieb frei von Präzisionsverlusten und kann die Position im ausgeschalteten Zustand stabil halten. Der Antrieb muss dann nicht bestromt werden und erwärmt sich nicht.
Edited by: Jürgen Wirtz
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