Vertikaler Hubtisch

Der Hubtisch AVS1000 von Aerotech eignet sich zur Mikropositionierung. Er wird zum Bewegen großer und schwerer Lasten im Submikronbereich eingesetzt und kann bei der Halbleiterfertigung, der automatischen Werkzeugjustage, der optischen Inspektion und der Laser-Mikrobearbeitung genutzt werden. Der Hubtisch hat dank seines Keildesigns eine niedrige Arbeitshöhe von 140 mm und ist mit einem servomotorgetriebenen Spindelantrieb mit linear geführten Hochleistungslagern ausgestattet. Die Gesamtabmessung beträgt 450 mm x 500 mm. Lasten können direkt über dem Lagersystem positioniert werden, die Geradheit über den gesamten Verfahrweg sorgt für hohe Ebenheit der Tischoberfläche und Gesamtpräzision. Eine große durchgehende Öffnung ermöglicht den Einsatz in den Bereichen Mikroskopie und Bildgebung, bei denen eine optische Achse vollständig durch den Tisch hindurchlaufen muß. Werkstückhalterungen lassen sich innerhalb der Öffnung und unterhalb der Tischoberfläche anbringen, sodass die niedrige Arbeitshöhe voll genutzt werden kann. Der vertikale Hubtisch hat eine Tragkraft von 135 kg.