Die QNP-Z-Serie von Aerotech bietet eine Auflösung, Linearität, Wiederholbarkeit und hohe Dynamik, wie sie für die anspruchsvollsten Anwendungen von der Mikroskopie bis zur optischen Ausrichtung erforderlich sind. Mit einer Auflösung bis 0,15 nm, Linearität bis 0,007 Prozent und Wiederholbarkeit bis 1 nm wird eine nanometergenaue Präzision sichergestellt. Dank der hohen Dynamik (Resonanzfrequenz und Steifigkeit) erzielen Benutzer einen hohen Durchsatz in anspruchsvollen Prozessen. Zahlreiche Verfahrwege (100 μm bis 600 μm), Feedback-Optionen und Vakuumversionen sind weitere Vorteile dieser vielseitigen Tischserie. QNP-Z-Piezo-Tische besitzen Präzisions-Flexure-Führungen, die unter Verwendung der Finite-Elemente-Analyse optimiert wurden. Die resultierende Konstruktion bietet hohe Steifigkeit und Resonanzfrequenz (bis zu 1050 Hz), wodurch ein hoher Prozessdurchsatz und schnelle Reaktion bei Closed-Loop ermöglicht wird.
Hohe Auflösung und Positionierungsgenauigkeit
Alle QNP-Piezo-Tische bieten dank eines kapazitiven Sensors optional einen Closed-Loop-Betrieb mit Rückmeldung, wodurch eine Auflösung im Subnanometerbereich und hohe Linearität ermöglicht wird. Die kapazitiven Sensoren messen die Lage des Positionierungsschlittens direkt und mit herausragender Präzision und Wiederholbarkeit. In Kombination mit den Steuerungen und Antrieben der Q-Serie erzielen die Piezo-Tische der QNP-Serie eine Positionierungsauflösung, Positionsstabilität (Jitter) und hohe Positionierungsbandbreite im Subnanometerbereich. Softwareoptionen wie Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten zahlreiche benutzerfreundliche Werkzeuge wie Learning Control, Harmonic Cancellation und Command Shaping, die eine bessere Fehlernachverfolgung und schnellere Einschwingzeiten ermöglichen.
Konstruktionsflexibilität
Die Piezo-Tische der QNP-Serie sind mit und ohne kapazitivem Sensor (Closed-Loop / Open-Loop) erhältlich. Ein Open-Loop-Betrieb bietet eine günstige Option für Anwendungen, bei denen eine kompakte Größe, hohe Dynamik und eine Positionierungsauflösung im Subnanometerbereich jedoch keine absolute Positionierungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit erforderlich ist. Der Open-Loop-Betrieb kann auch verwendet werden, wenn die Piezo-Position mit einer externen Feedback-Quelle gesteuert wird.
